ウェーハハンドリングシステム

ウェーハ ガイド マシン（自動スイッチング マシン）は、高精度の特殊ツールです。-半導体 IC 生産ラインでの 6 インチ ウェーハのハンドリング用に特別に作られています。これにより、ウェーハボックス間だけでなく、ウェーハボックスとボートの間でもウェーハをシームレスに搬送できます。これは、半導体製造プロセスを合理化するための重要なリンクです。