• 縦型LPEシステム
    この縦型液相エピタキシャル炉は、HgCdTe 薄膜材料の液相エピタキシャル成長用に構築されており、P-on-N 構造検出器に使用される As- ドープ P- 型材料の製造に重点を置いています。
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  • 横型LPEシステム
    横型液相エピタキシャル炉は、HgCdTe 薄膜の液相エピタキシャル成長のために構築された専用のプロセス装置です。
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