テストウェハ

-TC ウェーハを使用すると、特定のウェーハ スポットでのリアルタイムの温度測定とウェーハ全体の温度分布を取得できます。さらに、加熱、冷却、定常状態プロセス、遅延時間を含む熱プロセス全体にわたる過渡的な温度変化を継続的に監視するために利用することもできます（炉の温度均一性データを取得して歩留まりを管理するなど）。