ウェーハガイドマシン

6インチウエハガイドに特化しており、半導体集積回路製造ラインにおけるウエハボックス間、およびウエハボックスとボート間のシームレスな搬送を可能にします。

標準ウェーハや厚い/薄いウェーハ (さまざまな厚さに合わせてパラメータを調整可能) を含む、シリコン、ガリウムヒ素、炭化ケイ素などの一般的な材料の 6 インチウェーハをサポートします。

サイズ（参考）：W650mm×D550mm×H790mm（最終デザインによる）容量オプション: バッチあたり 25 PCS / 50 PCS。

はい。モジュール式配管システムと互換性のある寸法により、ラインを大幅に変更することなく、サードパーティ製の機器（ウエハ ローダー、洗浄機など）と簡単に統合できます。-

同期ベルトカウンターウェイトトランスミッション (抵抗に遭遇するとすぐに停止) と調整可能な速度/トルク (ウェーハの材質/厚さに基づく) を使用して、断片化や傷を最小限に抑えます。

はい。静電気除去用の垂直下向きファン カバーが装備されており、W-PP 本体は耐食性があり、掃除が簡単で、半導体クリーンルーム要件を満たしています。-

ボートボックス位置検出、ウェーハ有無検出、走行位置検出を搭載し、ウェーハの位置ずれや欠落を防ぎます。

はい。手動操作、プロセスの選択、パラメータ設定、式の変更をサポートするヒューマン マシン インターフェースを備えています。-専門的なプログラミング スキルは必要ありません。

現在の標準モデルは6インチウェーハ（25/50PCS容量）対応です。サイズ、容量、または特殊な素材の互換性に関するカスタマイズが可能です。特定の要件については、お問い合わせください。
どのようなアフターサービスが提供されますか?{0}}
設置指導、操作トレーニング、技術サポートをご提供いたします。品質上の問題に対しては、タイムリーなトラブルシューティングとスペアパーツの供給を提供します。

この機械は半導体業界の機器規格に準拠しています。特定の認証（CE、ISOなど）が必要な場合は、カスタマイズ手配のため事前にご連絡ください。