製品概要
SCD6 および SCD6S は、化合物半導体、パワーデバイス、MEMS、およびオプトエレクトロニクス製造用のコンパクトな 6 インチ自動スピンコーターおよび現像システムです。
SCD6: パワーデバイスやLEDの製造を対象としています。コンパクトな構造を採用し、Si、サファイア、GaAs、GaN、SiC、InP、LT、LNなどの基板をサポートし、G-ライン/i-ラインプロセスに適合します。
SCD6S: MEMS、RF 集積回路、光通信、および実験室研究を対象としています。 Glass への材料互換性を拡張し、PI プロセス機能を追加して、さまざまな研究開発やパイロット-生産タスクに高い柔軟性を提供します。
どちらのモデルも、設置面積が小さく、部品交換を必要としないデュアル サイズ互換性、正確なフォトレジスト定量ポンプ供給、EBR、BSR、ノズル自動クリーニングなどの包括的な組み込み機能を備えています。{{0}{1}{2}}
利点
さまざまなシナリオに応じたモデルの差別化 SCD6 は電力 / LED の量産を最適化します。- SCD6S は、MEMS、RF、研究志向のユーザー向けに PI プロセスとガラス基板のサポートを追加します。{3}
柔軟なオプションモジュール フォトレジスト/現像液の温度制御、HMDS 蒸気プライミングモジュールをサポートし、多様なプロセス要件に適合します。
完全なトレーサビリティ機能-機器の故障ログとプロセス パラメータの記録を長期保存でき、品質の追跡やプロセス分析に便利です。
包括的な標準プロセス機能{0}}EBR、BSR、RRC、接着ノズルの自動保湿および洗浄機能を内蔵し、安定したリソグラフィ品質を保証します。
高精度のフォトレジスト供給-フォトレジスト供給用の精密計量ポンプ、高い注入精度、安定した液体供給。吐出量の簡単なレシピ設定。
パラメータ
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アイテム |
SCD6 |
SCD6S |
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モデル |
SCD6 6- インチのスピンコーター＆デベロッパー |
SCD6S 6インチスピンコーター&デベロッパー |
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ウェーハサイズ |
6- インチ (150 mm)、部品交換なしでデュアルサイズ互換 |
6- インチ (150 mm)、部品交換なしでデュアルサイズ互換 |
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基板材料 |
Si、サファイア、GaAs、InP、GaN、SiC、LT、LN |
Si、ガラス、サファイア |
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チャンバー構成 |
2C2D / 4C / 4D |
3C / 4C / 6D |
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サポートされるリソグラフィープロセス |
ジ-行、イ-行 |
ジ-行、イ-行、PI |
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装置寸法（幅×奥行き×高さ） |
1050×1900×2200mm |
1500×1450×2200mm |
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オプションユニット |
フォトレジスト/現像液温度制御、HMDSモジュール |
フォトレジスト/現像液温度制御、HMDSモジュール |
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コア組み込み関数- |
EBR、BSR、RRC、ノズルの自動{0}}加湿とクリーニング |
EBR、BSR、RRC、ノズルの自動{0}}加湿とクリーニング |
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制御モード |
ローカル制御、長期レシピと障害ログの保存- |
ローカル制御、長期レシピと障害ログの保存- |
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認証 |
SEMI S2に準拠 |
SEMI S2に準拠 |
よくある質問
Q: SCD6 と SCD6S の違いは何ですか?
A: SCD6はパワーデバイスやLEDの量産向けに最適化されており、G線/i線プロセスの多様な化合物半導体基板(サファイア、GaN、SiCなど)に対応しています。 SCD6S は、PI プロセス機能とガラス基板との互換性を追加し、MEMS、RF IC、光通信、実験室の R&D シナリオにより適しています。チャンバーの構成や物理的寸法も異なります。
Q: SCD6 / SCD6S はウェーハサイズの切り替えをサポートしていますか?
A: はい。どちらのモデルもスペアパーツを交換することなくデュアルサイズの互換性をサポートし、製品の切り替え時間を短縮します。
Q: どのようなオプションモジュールが選択できますか?
A: フォトレジストおよび現像液温度制御モジュール、HMDS プライミング モジュールは、SCD6 と SCD6S の両方で利用できます。
Q: マシンはプロセスと障害の履歴を保存できますか?
A: はい。プロセスパラメータと装置の障害記録は、品質のトレースバックとプロセスのデバッグのために長期保存できます。
Q: 大量生産に適していますか、それとも研究室での使用のみに適していますか?
A: どちらも、実験室での研究開発だけでなく、小ロットの大量生産もサポートしています。 SCD6 はパワー/LED の大量生産をより指向しています。 SCD6S はパイロット生産および研究プロジェクトに適合します。
人気ラベル: 6 インチ スピンコーターおよびデベロッパー、中国 6 インチ スピンコーターおよびデベロッパーのメーカー、サプライヤー
