製品概要

このウェーハスクラバーは真の主力製品であり、6 インチから 12 インチのウェーハを処理し、ウェーハ製造と高度なパッケージングワークフローの両方に適合します。{0}

2 ～ 4 個のロードポートと 4 ～ 8 個のクリーニングチャンバーなど、生産ニーズに対応できるように構築されているため、量に応じてスケールアップまたはスケールダウンできます。一番いいところは？連続的な前面と背面のクリーニングを実行します (ウェーハ反転機能のおかげ)。さらに、背面とエッジのスクラブ用の専用モジュールが搭載されています。-スポットを見逃すことはありません。

内部では、作業を適切に実行するコア洗浄技術、つまり熱 DIW と N₂ を噴霧する 2 つの流体洗浄が使用されています。-これらの機能は粒子や汚染物質を徹底的に吹き飛ばし、ウエハーをきれいな状態にします。また、柔軟な構成により、実行している本番規模に合わせてシームレスに適応できます。-複雑な調整は必要ありません。

利点

幅広いウェハ互換性

6 ～ 12 インチのウェーハをサポートし、製造およびパッケージングにおける主流のフォーマットをカバーします。

包括的な清掃範囲

連続的な表/裏クリーニング (フリップ機能付き) + 裏側/エッジスクラブにより、汚れ除去のデッドゾーンを排除します。

効率的かつ徹底した洗浄

高温 DIW + N₂ 噴霧 2 流体テクノロジーにより、粒子や残留物に対する高い洗浄効率が保証されます。-

スケーラブルな構成

2～4 個のロードポート + 4～8 個のチャンバーで、小規模バッチの研究開発や大量生産のニーズに対応します。-

アプリケーション

01/

中核分野:半導体ウェーハの製造、高度なパッケージング。

02/

主要なプロセス:製造またはパッケージングのワークフロー中のウェーハ表面の粒子/残留物の洗浄 (前面/背面/エッジ領域を含む)。

パラメータ

仕様	詳細
ウェーハサイズ	6-12インチ
ロードポート	2～4個のロードポート
洗浄室	4～8 個の洗浄チャンバー
主なクリーニング機能	- ウェハ反転機能（表裏連続洗浄） - 裏面スクラバー - エッジスクラバー
洗浄技術	熱 DIW(脱イオン水)、N2 噴霧二流体- クリーニング
応用分野	ウェーハ製造、高度なパッケージング
主な目的	ウェーハ表面・裏面・エッジパーティクル・残渣除去