製品概要
フォトレジスト剥離システムは、6～12- インチのウェーハ-専用に作られており、あらゆる種類の分野での金属リフトオフ作業に最適です-。 3 つのチャンバー セットアップ (浸漬、剥離、洗浄) が用意されていますが、さらに必要な場合は、ワークフローに合わせてマルチプロセス キャビティをカスタマイズできます。
何が目立つのでしょうか？ NMP 加熱 (室温から 90 度 ±2 度の範囲) や 30MPa の高圧-圧力脱ガム-などの便利な機能に加え、プロセス液をリサイクルして廃棄物を削減します。性能や安全性も軽視しませんでした。超音波剥離により金属を迅速かつ完全に除去でき、{6}}内蔵の CO₂ 自動消火システムにより安心して操作できます。-
利点
幅広いウェーハとプロセスの互換性
6～12- インチのウェーハをサポート。パワーデバイス、フィルター、MEMSなどのリフトオフプロセスに適応します。
効率的な剥離性能
NMP 温度制御、30MPa 高圧脱ガム、超音波剥離を組み合わせて金属を徹底的に除去します。
コストと安全性の最適化
プロセス液のリサイクル (濾過して再利用) により運用コストが削減されます。 CO₂自動消火装置により安全な操作が可能です。
柔軟な構成
標準の 3- チャンバーセットアップ + オプションのマルチプロセスキャビティで、多様な生産ニーズに対応します。
アプリケーション
中核分野:パワーデバイス、フィルタ、MEMS（微小電気機械システム）-、その他の半導体関連分野。-
主要なプロセス:デバイス構造製造のための金属リフトオフ（湿式処理による特定の金属層の除去）-。
パラメータ
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仕様 |
詳細 |
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ウェーハサイズ |
6-12インチ |
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標準構成 |
3室（浸漬、剥離、洗浄） |
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オプションの構成 |
複数のプロセスキャビティ(カスタマイズ可能) |
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NMP 加熱パラメータ |
室温～90度±2度 |
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高圧-脱ガム |
最高圧力：30MPa |
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主な機能 |
- プロセス液リサイクル（濾過再利用） |
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安全システム |
CO2自動消火装置 |
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応用分野 |
パワーデバイス、フィルター、MEMSなど |
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コアプロセス |
金属リフトオフ-（金属層の湿式剥離） |
よくある質問
この装置はどのようなウェーハサイズをサポートしていますか?
6 ～ 12 インチのウェーハと互換性があり、パワーデバイス、MEMS などの一般的なフォーマットをカバーします。
標準的なチャンバーのセットアップは何ですか?
標準構成には、浸漬、剥離、洗浄の 3 つのチャンバーが含まれています (カスタマイズ可能なマルチプロセス キャビティもサポートされています)。-
NMP加熱はどの温度範囲をサポートしますか?
NMPを室温から90度±2度まで加熱でき、さまざまな剥離プロセスのニーズに適応します。
高圧脱ガム機能はどのくらい強力ですか?{0}
高圧脱ガムの最大圧力は 30MPa に達し、残留物を徹底的に除去します。-
コスト削減機能はありますか?-
はい-プロセス液体はリサイクルおよび濾過して再利用できるため、運用コストが削減されます。
どのような安全対策が施されていますか?
CO₂自動消火装置を搭載しており、加工中の安全性を確保しています。
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