東南アジアの半導体業界は信頼性をさらに高めました。精度を追求して構築された当社の主力モデルである 2 台の垂直ウェーハ乾燥機が、ベトナムのホーチミン市にある大手パッケージング施設でフル稼働しています。これらは単なる「別の装置」ではありません。-クライアントが 8 インチ ウェーハのバックエンド ラインを実行する方法をすでに再構築し、ダウンタイムを削減し、使用可能なチップの数を増やしています。まさに私たちが目指しているインパクトです。
このクライアントは、単一の粒子や残留物スポットがバッチ全体を沈める可能性がある自動車および消費者向けチップのパッケージング領域を専門としています。{0}私たちと提携する前は、彼らのワークフローがボトルネックでした。洗浄機と乾燥機が別々であるため、常にウェーハをハンドリングする必要があり、乾燥が一貫していないため、フォトレジスト コーティングを剥がす粒子が残っていました。同社の利回りは数カ月間92％で推移し、自動車業界の顧客は落ち着きを失っていた。彼らは他の 3 台の乾燥機をテストしましたが、私たちの縦型モデルのダブル チャンバーとオールインワン デザインを見たときはどうなりましたか?{6}決断は明らかだった。
ウェーハ乾燥機がゲームチェンジャーとなる理由は何ですか?{0}}まずは、上下の 2 つの独立したチャンバーから始めましょう。-それぞれが独自に制御可能です。つまり、一方で SPM 酸洗浄乾燥を実行し、もう一方でフォトレジスト除去乾燥を実行できるため、相互汚染や待ち時間が発生しません。-さらに、--オールインワン設計です。洗浄と乾燥が 1 つのユニットで行われるため、ウェーハが管理された環境から離れることがなく、損傷やパーティクルの付着を軽減できます。-迷路窒素シールによりキャビティがしっかりと隔離され、高電圧による静電気除去?{9}}小さな破片を引き寄せる静電気を除去し、表面を中立に保ちます。スペック的には？当たります<0.3μm particles per wafer (under 30 grains), runs at 100-2500 RPM (they've been using 1200 for their 8-inch wafers), and the UPTIME is over 95%-so it rarely skips a beat.
縦型ウェーハ乾燥機
「ウェーハ乾燥機の電源を入れるまでは、1 台の機械で最大の悩みの 2 つを解決できるかどうかは疑問でした。{0}」とクライアントの製造ディレクターは最終承認時に述べました。 「1 週間で、歩留まりが 92% から 95.1% に跳ね上がりました-。これは、1 日に数千枚の良品チップの増加です。ダブル チャンバーにより、一度に 2 つのプロセスを実行できるため、ライン スループットが 40% 向上しました。そして断片化率は? かろうじて 10,000 分の 1 です。-古いセットアップの 2,000 分の 1 よりはるかに優れています。すでに 3 年間でさらに 3 つの予算を立てています」当社の新しい 12 インチ ラインについての Q1 2026 - この乾燥機は基礎となります。」
この納入は単なる販売ではなく、{0}}当社の Semiclean シリーズが東南アジアの急成長する半導体ニーズに適合していることを証明しています。私たちは機械の出荷にとどまりませんでした。今年初めに開設されたハノイのテクニカル センターには、地元のエンジニアが 24 時間年中無休で待機しています。パラメータの調整や迅速なメンテナンスが必要な場合は、すぐに助けが得られます。そして、ウェーハ乾燥機は、この地域のすべてのボックスをチェックしています。KM-40N および A182-60MB カセット (ここで最も一般的) に適合し、標準的な脱イオン水と窒素供給源で稼働し、コンパクトなサイズ (幅 490 mm、高さ 1880 mm) で、狭い生産フロアにぴったりと収まります。コストのかかる再構成は不要で、すぐに価値が得られます。
ベトナム、マレーシア、タイ-地域の半導体工場は急速に拡大しており、同様に強力に機能する設備が必要です。私たちの次の動きは？ Semiclean シリーズを微調整して、マイクロセンサーで重要なガリウムヒ素など、より温度に敏感なウェーハを処理できるようにしました。{{2}結局のところ、重要なのは「完璧な」機器を構築することではなく、-クライアントがシフトごとに直面する実際の厄介な問題を解決するツールを構築することです。
