デスクトップRTP装置

まず「RESET」を押してアラームを止めます。キャビティのドアがしっかりと閉まっているか、ドアのロックが確実にかかっているかを確認してください。問題が解決しない場合は、ドアロックセンサーの配線を確認してください。

汚染を防ぐため、清潔な手袋を着用してください。衝突を避け、キャリアの中心にあることを確認するためにウエハを優しく扱ってください。

Switch the "Temperature Control Mode" in the PC software: Use thermocouple for ≤800℃, manually switch to infrared for >800度。切り替え後、システムは自動的に校正を行います。

キャリアがないことを確認します (SiC/グラファイトキャリアにより速度が制限されます)。すべてのランプが正しく機能しているかどうかを確認してください。コンポーネントに欠陥がある場合は、アフターサービスが必要です。-

ウェーハが 6 インチ以下であることを確認します。ソフトウェアでランプの電力を確認し、異常がある場合は、エンジニアが微調整を指導します。-石英チャンバーを定期的に清掃してから校正してください。

真空が 30 mTorr 以下であるかどうかを確認します (不十分な場合は、漏れがないか確認し、真空ポンプ オイルを交換します)。 O₂ 含有量が 3 ppm 未満であることを確認します (超えている場合は、ガスシリンダーを交換し、パイプラインの漏れを確認します)。

毎週石英チャンバーをアルコールで拭き、ランプアセンブリを 3 か月ごとにチェックし (1000 時間後に交換)、毎月シールリングの経年劣化をチェックし、水冷が 70 度を超えていないことを確認してください。

A: プロセスをシャットダウンし、真空パイプラインをチェックし、ポンプを再起動します。それでも異常がある場合は、漏れ量を確認します (10 mTorr/min を超えている場合は、漏れ箇所を特定して修理します)。

機器と PC 間の通信ケーブルを確認し、再起動してもう一度試してください。それでもデータがない場合は、センサーの配線を確認するか、アフターサービスに連絡してソフトウェア ドライバーを確認してください。{0}

「EMO 緊急停止」を押して熱源を遮断し、カバーを開けます。障害が解決したら、「RESET」を押してリセットし、再起動します。