製品概要

自動ウェーハ検査顕微鏡は、半導体、パネルディスプレイ、太陽光発電などの業界向けのウェーハレベルの自動検査装置です。{0}これらは、サンプルの検査、分析、処理のための効率的かつ正確なソリューションを提供します。

製品のポジショニング

ツァイスの光学技術を活用し、モジュール設計とインテリジェントなアルゴリズムを統合した自動ウェーハ検査顕微鏡は、自動ロードとアンロード、多次元検査、欠陥マーキングからレポート生成まで、使いやすさとプロフェッショナリズムのバランスをとりながら、ウェーハのあらゆるニーズをカバーします。{0}

利点

① 高効率の動作モード-

②ターンキーウェーハ検査ソリューション

③ リアルタイム測定、正確なデータの提供

④豊富な対物レンズオプション

⑤ インテリジェントで高速なオートフォーカス

⑥ インテリジェントで効率的なレーザー欠陥マーキング

⑦ ナビゲーションマッププレビュー、図面比較、正確な位置決め

⑧ サードパーティとの互換性により、ウェーハ処理の自動化が可能

アプリケーション

半導体製造
パネル展示
太陽光発電産業

パラメータ

XYステージ	8インチウエハXY手動/電動ステージモジュール XY精度：2μm以下移動範囲：205mm×205mm 素早い移動のためのクラッチハンドル
Z-軸ステージ	Z-軸ハンドル Z-軸-微調整精度: 1 μm 以下移動範囲：36mm以上
対物レンズ	ツァイス独自の手動・電動顕微鏡レボルバを採用 Zeiss EC EpiPlan 対物レンズ、EC Epiplan アポクロマート対物レンズ、および EC Epiplan Neofluar 対物レンズ
光源	5W LED透過光源 10W LED反射光源
ウエハロードステージ	マルチ-サイズのウェーハステージと互換性あり（4インチ、6インチ、8インチのウェーハと互換性あり）透過可能、ウエハ作業台着脱可能、液晶パネルの検出機能に対応
画像観察	Zeiss Axiocam シリーズのカメラまたはサードパーツのカメラと互換性がありますツァイス用接眼レンズ（オプション）オプションの微分干渉コントラスト、蛍光、偏光モードを備えた明視野観察モードと暗視野観察モードを提供します
リモコンハンドル	対物レンズ切替ボタン照明光量調整ボタンにより、対物レンズ/観察モードに応じて現在の光量を自動調整可能反射照明と透過照明の切り替えボタン Telex Z- 軸フォーカスノブ、XY モーション軸リモートセンシング欠陥マーキングとオートフォーカスボタン
オートフォーカスモジュール	アクティブオートフォーカスモジュールと互換性があり、50 倍の対物レンズで観察対象のリアルタイムフォーカス機能を実現します。-
欠陥マーキングモジュール	欠陥マーキングモジュールと互換性があり、サンプル欠陥部品のリアルタイムマーキングを実現します。{0}
ウェーハハンドリングモジュール	ウェーハハンドリングモジュールと互換性があり、ウェーハの自動ロードおよびアンロードを実現します

よくある質問

どのようなサイズのウェーハを検査できますか?他のサイズも検査できますか？

4インチ、6インチ、8インチのウエハーに対応しています。ステージを外せば液晶パネルの検査にも使用できます。

どのような光学技術が利用されているのでしょうか？

ツァイスの何世紀にもわたる光学品質を継承し、{0}}ICCS 光学系の利点を統合しています。すべての対物レンズは、アクロマート、セミアポクロマート、アポクロマートタイプを含むオリジナルのツァイスレンズです。-明視野、暗視野、DIC、偏光、蛍光観察モードもサポートしています。

操作は難しいですか？モジュールを自分で組み立てる必要がありますか?

いいえ、ターンキーソリューションです。人間工学に基づいた接眼レンズ、リモートハンドル、オペレーティングソフトウェアがすべて統合されています。プロセス全体に追加の開発は必要なく、初心者でもすぐに使い始めることができます。

自動運転や遠隔操作はできますか？

ハンドルを使用して遠隔制御でき、対物レンズの切り替えや照明の調整のためのショートカットキーが付いています。また、電動 XYZ ステージ、オートフォーカス、およびウェーハハンドリングモジュールを装備することもでき、自動ロードおよびアンロード、および継続的なフォーカス追跡が可能になります。

変位精度はどうですか？オートフォーカスはどの程度うまく機能しますか?

XY電動ステージは2μm以下の精度を達成し、Z-軸微調整精度は1μm以下です。-オートフォーカスは 660nm/780nm/808nm の光源、高-フレームレート- カメラ、アルゴリズムを利用して、迅速な焦点合わせと継続的な追跡を可能にします。また、Zeiss Axiscope シリーズ顕微鏡のアップグレードもサポートしています。

レーザー欠陥マーキングはどのような材料に使用できますか?

450nm と 532nm の 2 つのレーザーが利用可能です。クロム、アルミニウム、ITO、銅、シリコーン樹脂などの材料は、サブミクロンレベルのマーキングと修復に使用できます。-