製品概要

当社の 3D 光学プロファイラーと高精度スキャンおよび高精度アルゴリズムを組み合わせることで、粗さ、段差、表面プロファイル、曲率、その他のパラメータを含む、ナノメートルからミリメートルスケールまでの表面トポグラフィー分析を実現できます。-非接触（非破壊検査）、サンプル表面の剛性の要件なし、高精度、高速スキャンのため、半導体、光学材料、バイオチップ、金属表面、精密加工、その他の産業で広く使用されています。{4}}

アドバンテージ

4 つの異なる測定モード-明視野観察、白色光干渉法、共焦点顕微鏡、被写界深度融合-が 1 台の顕微鏡に統合されており、さまざまなシナリオでの測定ニーズに対応します。

さまざまな測定モードで、ナノメートル未満からナノメートルの精度で分析結果を得ることができます。{0}

独自の AI アルゴリズムがパターンを分析し、「遅延なし」の結果出力と「ワンクリック」の結果測定を実現します。{0}

当社は、特別なサンプル要件や機能ニーズにかかわらず、さまざまな特定のシナリオのワークフロータスクを満たす「モジュール式」のカスタマイズされた機能製品を提供します。

光学システムとセンサーを単一のハウジングに統合した革新的な統合設計が特徴です。このコンパクトな設計により、使いやすさが向上するだけでなく、システムの安定性も大幅に向上し、あらゆる動作条件下で信頼できるパフォーマンスが保証されます。-

応用

この 3D 光学プロファイラーは、優れた光学検出技術を備えており、さまざまな業界やアプリケーションシナリオの厳しい要件を満たします。バイオチップ、半導体、光学材料検出など、お客様の特定のニーズに合わせてカスタマイズされた観察および測定ソリューションを提供します。このシリーズは、高度な 3D イメージング技術を備えているだけでなく、複数の革新的な機能も組み込んでおり、ユーザーに包括的な観察体験を提供します。

パラメータ

測定の種類	白色光干渉 / 被写界深度融合 / 共焦点
観測の種類	画像（2D/3D）、形状、寸法、粗さ、厚さなど
光源	白色光LED、スペクトル範囲: 420-700 nm
ノーズピース	6 ポジション @ フルモーター化。繰り返し位置決め精度: 0.001 度
カメラ	1936 × 1464 (132.2 fps)
Zステージ移動量・走査範囲	移動距離：100mmスキャン範囲: 10 mm
粗さ RMS 再現性	0.008nm
ステップ再現性	0.1 % (10 μm)
XYステージ範囲	100 mm × 100 mm @ フル電動
ヒント-ステージを傾ける	±3 度のピッチ調整 @ フルモーター駆動
重さ	75kg
寸法	516mm×430mm×550mm
環境要件	推奨周囲温度 23 度、湿度 20% - 50%