3D 顕微鏡は、ナノメートルからミリメートルスケールをカバーする測定範囲を備えた高精度の表面形態分析装置であり、粗さ、段差の高さ、表面プロファイルなどのパラメーターを分析できます。この機器は非破壊検査技術を採用しており、サンプルの表面剛性に対する特別な要件はありません。-高速スキャンと高い安定性が特徴です。 2025年に発売されるMiracle Visionシリーズは、光学システムとインテリジェントアルゴリズムを統合し、2D測定と3D再構成機能をサポートし、半導体、バイオチップ、精密機械加工などの分野に応用されています。
技術的特徴
光学倍率範囲108x-17280x、回転3D観察機能をサポートします。
インテリジェントレベリング技術と地域ナビゲーション機能を採用し、測定効率を向上させます。
測定精度は測定値の±2％以内にとどまっています（2021年現在）。
